中國科學院微電子研究所的前身——原中國科學院109廠成立于1958年。1986年，109廠與中國科學院半導體研究所、計算技術研究所有關研制大規(guī)模集成電路部分合并為中國科學院微電子中心。2003年9月，正式更名為中國科學院微電子研究所。微電子所的戰(zhàn)略定位是：中國微電子技術創(chuàng)新的引領者和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的推動者。微電子所堅持“三個面向”“四個率先”的新時期辦院方針，在集成電路先導技術、微電子器件與集成技術、物聯(lián)網(wǎng)核心技術與應用、科教融合微電子學院建設等方面重點推進。現(xiàn)擁有2個基礎研究類中國科學院重點實驗室（微電子器件與集成技術重點實驗室、硅器件技術重點實驗室），6個行業(yè)服務類研發(fā)中心（中國科學院EDA中心、集成電路先導技術研發(fā)中心、系統(tǒng)封裝與集成研發(fā)中心、中科新芯三維存儲器研發(fā)中心、電磁信息智能應用研究中心、光刻技術總體部），6個行業(yè)應用類研發(fā)中心（通信與信息工程研發(fā)中心、新能源汽車電子研發(fā)中心、健康電子研發(fā)中心、智能感知研發(fā)中心、智能制造電子研發(fā)中心、智能電子系統(tǒng)研發(fā)中心），4個核心產(chǎn)品類研發(fā)中心（硅器件與集成研發(fā)中心、高頻高壓器件與集成研發(fā)中心、微電子儀器設備研發(fā)中心、光電技術研發(fā)中心）。